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Helmholtz fördert "Nanoprober made in Jülich"

Jülich, 4. November 2016 – Erkenntnisse aus der Forschung in die Anwendung zu bringen, ist ein wichtiger Schritt, um einen Beitrag zur Lösung gesellschaftlicher Probleme zu leisten. Die Helmholtz-Gemeinschaft fördert deshalb mit dem Helmholtz-Validierungsfonds (HFV) Projekte, die in diesem Bereich besonders vielversprechend sind. Ausgewählt wurde jetzt auch ein Projekt des Jülicher Peter Grünberg Instituts: Die Entwicklung eines besonderen Prüfgeräts für die Halbleiterindustrie, eines sogenannten "Nanoprobers", fördert Helmholtz in den kommenden zwei Jahren mit rund einer Million Euro.

Nanoprober werden in der Halbleiterindustrie, aber auch an Forschungsinstituten eingesetzt. Sie helfen beispielsweise bei der Fehleranalyse integrierter Schaltkreise und bei der Prozessoptimierung in der Chip-Produktion. Zur Untersuchung der sehr kleinen Strukturen braucht man nicht nur Mikroskope, sondern auch Messspitzen. Diese werden beispielsweise direkt an die Kontakte einzelner Transistoren herangefahren.

Bisher sind zwei unterschiedliche Arten von Nanoprobern im Einsatz: Elektronenmikroskop-basierte (SEM) und Rasterkraftmikroskopie-basierte (AFM) Nanoprober. Für die Kunden aus der Halbleiterindustrie bietet eine Kombination dieser beiden Arten von Nanoprobern unter anderem den Vorteil, kostensparender zu sein. Ein Team um Prof. Bert Voigtländer wird im Rahmen des Validierungsvorhabens einen kombinierten SEM/AFM-Nanoprober bis hin zur Marktreife entwickeln und den Einsatz im industriellen Umfeld testen.

Weitere Informationen

Peter Grünberg Institut, Bereich Functional Nanostructures at Surfaces (PGI-3)

Pressemitteilung der Helmholtz-Gemeinschaft

Ansprechpartner:

Prof. Bert Voigtländer
Peter Grünberg Institut, Bereich Functional Nanostructures at Surfaces (PGI-3)
Tel.: 02461 61-4116
E-Mail: b.voigtlaender@fz-juelich.de

Pressekontakt:

Erhard Zeiss, Pressereferent
Tel.: 02461 61-1841
E-Mail: e.zeiss@fz-juelich.de

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