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Kosten für den Zugang

Zugang über Drittmittelprojekte

  • via DFG

    Wir empfehlen das FZJ mit als Antragsteller oder assoziierter Partern zu führen. Nur dann ist eine Nutzung mittels DFG Kostensätzen möglich. Bis zu 60 T€ sind bei der DFG als Nutzungskosten für Reinräume beantragbar.

    Für Forschungspartner, die einen Kooperationsvertrag mit dem Forschungszentrum haben, ist die Nutzung bei einem DFG-Projekt kostenfrei. Die Kosten für Materialverbrauch werden vollständig in Rechnung gestellt (19% MwSt)

  • via BMBF oder EU

    Wir empfehlen das FZJ mit als Antragsteller oder assoziierter Partern zu führen. Nur dann ist eine Nutzung nach den BMBF- oder EU-Sätzen möglich.

  • via Kooperationsvertrag

    Der Zugang wird über Kooperationsverträge zwischen dem Forschungszentrum Jülich und der nutzenden Institution (Universität, Fachhochschule, Forschungseinrichtung, etc.) in Kombination mit einem FuE-Vertrag des Nutzers (Institut, Abteilung, etc.) dieser Institution geregelt. Im Rahmen des Vertragsverfahrens sind die Kosten frei verhandelbar, es werden zumindest Zuschüsse erwartet. Pauschale Regelungen sind möglich.

als Industriepartner

Wenn kein Kooperationsvertrag und/oder FuE-Vertrag zwischen dem Forschungszentrum Jülich und dem Nutzer möglich ist, erfolgt die Abrechnung nach Vollkosten.

Kostensätze für Gerätenutzung als Industriepartner in €/h zzgl. MWST

EBPG 5000

326

PLS 500

173

PLS 570

163

PECVD1

25

PECVD2

48

EVO2

41

RIE3

51

RIE 4

50

RIE5

55

RIE6

58

RIE7

53

TePLa 360

11

MA1

35

MA2

33

MA3

34

MA4

56

Saw

37

Tempress

52

CLV1/2

30

RTP

54

SSEC

37

RBS

200

Imprint

31

Implanter

346

Univex 400

Se 800

21

ALD

104

Sigma 300

51

Dektak

16

STM

17

WB-Si

25

WB-3/5

20

WB-Bio

30

Preclean

23

WB-Mask

32

SEM Zeiss

49

SEM FEI

237

FIB FEI

296




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