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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Dünnschichttechnologien

Arbeitsschwerpunkt des Teams Dünnschichttechnologien ist die Abscheidung von Komponenten hauptsächlich für Batterien, aber auch andere Anwendungsgebiete wie zum Beispiel Brennstoffzellen, durch physikalische und chemische Gasphasenprozesse (PVD/ CVD), teilweise auch durch nasschemische Verfahren. Neben der Weiterentwicklung der Methoden für einzelne Materialien werden auch komplette Systeme wie Batterien oder Brennstoffzellen hergestellt.

PVD/CVD

Nasschemische Methoden


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