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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Dünnschichttechnologien

Komponenten für Batterien, aber auch andere Anwendungsgebiete wie zum Beispiel Brennstoffzellen können durch physikalische und chemische Gasphasenprozesse (PVD/ CVD), oder auch durch nasschemische Verfahren hergestellt werden. Neben der Weiterentwicklung der Dünnschicht-Methoden für einzelne Materialien werden auch komplette Systeme wie Batterien oder Brennstoffzellen hergestellt.

Team DünnschichttechnologienÜberwachung des PVD-Beschichtungsprozesses

Anlagentechnologien

PVD/CVD

Nasschemische Methoden



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