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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Kathodenzerstäubungsanlage zur Herstellung von Beschichtungen.

Kathodenzerstäubungsanlage

PVD-Anlage

  • Kathodenzerstäubungsanlage ( Classic 500-SP )

    Hersteller:
    Pfeiffer Vacuum GmbH

    Kathodenquellen :
    Drei Kathodenquellen von AJA International.
    Zwei von Ihnen können als RF-Quelle
    und ein als DC-Quelle benutzt werden.

    Probenhalter:
    Rotierend, mit RF-Plasmareinigung
    und Proben-Wärmestrahlenbeheizung

    Heizung:
    Boralectric® 2,3KW

    Medium:
    Ar, Ar-O2 , N2, Ar-H2



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