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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Ellipsometrie

Die Spektroskopische Ellipsometrie ermöglicht die Bestimmung der dielektrischen Funktion und der Dicke einer Dünnschicht. Die Abhängigkeit der dielektrischen Funktion von der Wellenlänge ist insbesondere für die optische Simulation von Dünnschichtsystemen erforderlich. In der Ellipsometrie wird hierzu die Probe mit monochromatischem und polarisiertem Licht unter einem festgelegten Einfallswinkel bestrahlt. Die Änderung des Polarisationszustandes des reflektierten Lichts wird bestimmt und dient als experimentelle Grundlage für die Anpassung eines geeigneten Schichtmodells. Aus diesem wird die dielektrische Funktion der einzelnen Schichten der Probe bestimmt.

Ellipsometer

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