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Institut für Energie- und Klimaforschung

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pHW Anlage

Die p-HW-Kammer ist eine rechnergesteuerte Hot-Wire Depositionsanlage zur Entwicklung von stöchiometrischen dünnen Schichten aus Siliziumkarbid (µc-SiC:H) bei niedrigen Substrattemperaturen. Diese Schichten eignen sich als vielversprechende Fensterschicht in Silizium-Dünnschichtsolarzellen. Die Schichten werden aus Mischungen aus Monomethylsilan (MMS) und Wasserstoff hergestellt. Die Anlage besteht aus einer Reaktorkammer und einer Probenschleuse.

Sowohl das Filamentmaterial als auch die Anzahl und Form der Filamente ist variabel. Der Abstand zwischen Filament und Substrat lässt sich in situ einstellen. Optische Pyrometer dienen der Temperaturmessung von Filament und Substrat.

Ein zusätzliches thermisches Bad für metallorganische Präkursoren dient der p-Typ Dotierung der dünnen Schichten. Dabei wird das Dotierverhältnis in der Reaktorkammer durch den Gasfluss des Trägergases, die Temperatur und den Gasdruck der Dotierquelle eingestellt. Als Dotierquelle dient z.B. Trimethylaluminium (TMAl).

Anwendungen:

  • Stöchiometrische µc-SiC:H Dünnschichten, sowohl n- als auch p-Typ
  • µc-Si:H Dünnschichten

    Solarzelle: heißer Draht

Ansprechpartner:

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