Suche

zur Hauptseite

Institut für Energie- und Klimaforschung

Navigation und Service


Prozess-Technologie

Die Arbeitsgruppe Prozess-Technologie untersucht und optimiert Technologie-Prozesse zur Herstellung von Silizium-basierten Dünnschicht-Solarzellen mit besonderem Fokus auf die industrielle Realisierbarkeit. Dabei spielt die Abscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschicht-Solarzellen eine bedeutende Rolle. Insbesondere werden Prozesskontroll-Verfahren durch verschiedene Diagnostiken untersucht, welche die Fertigungslinien für Solarmodule intelligent und effizient gestalten können. Ein interdisziplinäres Team arbeitet hier an vielseitigen wissenschaftlichen und technologischen Fragestellungen, die zur Aufklärung von Wachstumseigenschaften des Siliziums und zur Verbesserung der Prozessstabilität beitragen.

Die Gasphasenabscheidung von Silizium mittels PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) bildet die Grundlage für die Untersuchungen der Arbeitsgruppe. Es werden verschiedene PECVD-Anlagen genutzt, an denen unterschiedliche Solarzellentypen realisiert und studiert werden können. Mit Hilfe diverser Spektroskopie-Verfahren, die an die Depositionsreaktortechnik angekoppelt sind, können Plasma-Analysen und in-situ Materialcharakterisierung durchgeführt werden.

Ein weiteres Arbeitsfeld der Gruppe stellt die Entwicklung nano-technologischer Halbleiterprozesse dar. So können beispielsweise Glassubstrate, die als Basis von Dünnschicht-Modulen gelten, mittels der sogenannten Nano-Imprint-Technologie strukturiert werden, welches für das Licht-Management der Solarzelle von großem Nutzen ist. Diese Nano-Technologie Prozesse werden in einem Reinraum-Labor entwickelt, welches dem IEK5 zur Verfügung steht.

Der Dialog zwischen wissenschaftlicher Forschung und industrieller Umsetzung spielt in der Arbeitsgruppe Prozessentwicklung eine bedeutende Rolle. Durch den Austausch an Erfahrungen und neuen Erkenntnissen können kommerziell eingesetzte Verfahren detailliert studiert und weiterentwickelt werden.

ProzTec001

Anlagen, Experimente und Methodik

Themen

Ansprechpartner:

Dr. Matthias Meier
Dr. Matthias Meier
Telefon: +49 2461 61-1552
E-Mail: ma.meier@fz-juelich.de


Servicemenü

Homepage