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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Prozesstechnologie

Die Arbeitsgruppe Prozesstechnologie erforscht und optimiert die Abscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschicht-Solarzellen mit einem Fokus auf industrienahen Produktionsprozessen. Insbesondere wird die Aufskalierung der Herstellungsprozesse vom Labormaßstab (10 x 10 cm2) auf industriell relevante, großflächige Module (mehrere Quadratmeter) und Prozesskontroll-Verfahren durch verschiedene Diagnostiken untersucht. Ein interdisziplinäres Team arbeitet hier an vielseitigen wissenschaftlichen und technologischen Fragestellungen, die zur Aufklärung von Wachstumseigenschaften des Siliziums, zur Untersuchung von Kontaminationseinflüssen während der Deposition oder zur Verbesserung der Prozessstabilität beitragen.

Die Gasphasenabscheidung von Silizium mittels PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) bildet die Grundlage für die Untersuchungen der Arbeitsgruppe. Es werden verschiedene PECVD-Anlagen genutzt, an denen unterschiedliche Solarzellentypen realisiert und studiert werden können. Mit Hilfe diverser Spektroskopie-Geräte, die in die Depositionsreaktortechnik integriert sind, können zudem Plasma-Analysen und in-situ Materialcharakterisierung durchgeführt werden.

Der Dialog zwischen wissenschaftlicher Forschung und industrieller Umsetzung spielt auch in der Arbeitsgruppe Prozesstechnologie eine bedeutende Rolle. Durch den Austausch an Erfahrungen und neuen Erkenntnissen können kommerziell eingesetzte Verfahren detailliert verstanden und weiterentwickelt werden.

Modul 30x30

PECVD-Anlage für dynamische Deposition auf 40x40 cm² Substratgröße


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