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In Jülich entsteht eines der modernsten Nanoelektronik-Labore Europas

Mit dem offiziellen Spatenstich begann heute der Bau der Helmholtz Nanoelectronic Facility (HNF). In den kommenden drei Jahren wird auf dem Gelände des Forschungszentrums Jülich ein modernes Reinraumzentrum mit rund 1000 Quadratmetern Fläche entstehen, in das eine Summe von rund 25 Millionen Euro investiert wird. In der HFN sollen unter anderem Materialien, Prozesse und Strukturen im Nanometerbereich für die nächste Generation der Halbleiter in den Chips von übermorgen entwickelt werden.

Für 9,8 Millionen Euro aus den Mitteln der Helmholtz-Gemeinschaft wird mit der HNF ein hochmodernes Reinraumzentrum entstehen. In wissenschaftliche Geräte und Betriebstechnik werden weitere 15,5 Millionen Euro investiert, neben den bereits durch Projekte beim Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) finanzierten Geräten. Der industriekompatible Gerätepark wird Anlagen zu Belichtung, Reinigung und Kontrolle von Wafern, zur Bearbeitung mit Ionenstrahlen (Ionenimplanter, Tandetron) und weitere nanoelektronische Prozesstechnik enthalten. In einem sogenannten Epitaxie- und Nanofabrikationscluster (NEC) werden eine Vielzahl von Geräten zur Herstellung, Prozessierung und Analyse von kleinsten Strukturen auf künstlichen Kristallen zusammengefasst. Ein verunreinigungsfreier Transport von Proben innerhalb der etwa 6 Meter mal 15 Meter großen Vakuumanlage ist so gewährleistet. Durch den modularen Aufbau bleibt jedoch sichergestellt, dass externe Nutzer aus Industrie und Universitäten mit ihren mitgebrachten Geräten in der neuen HNF arbeiten können.


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