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Peter Grünberg Institut
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Aufbau des Nanoclusters abgeschlossen

Der Aufbau des Nanoclusters, eine vom Peter Grünberg Institut und der RWTH Aachen gemeinschaftlich betriebene Ultrahochvakuum-Anlage bestehend aus 8 Depositionskammern, im Gebäude der Helmholtz Nanoelectronic Facility (HNF) ist abgeschlossen.

Der von Omicron® entwickelt und gebaute Nanocluster beinhaltet:

• eine Gruppe III-As MBE
• eine Gruppe III-As/Sb MBE
• eine ALD
• eine Metall-MBE
• eine Phasenwechsel-MBE
• eine Oxid-Sputteranlage
• eine Metall-Sputteranlage
• sowie eine Metalloxid-MBE

Der Nanocluster ist für eine maximale Substratgröße von 4‘‘ ausgelegt und erlaubt die Herstellung hochqualitativer Nanostrukturen mit in-situ Passivierung sowie komplexer Heterostrukturen. In Kombination mit der HNF können so neue Bauelemente im Rahmen von JARA-FIT und des „GreenIT“ - Programms erforscht werden.

Nanocluster InstallationDetail Nanocluster mit Transferkammer
Copyright: Torsten Rieger, Benjamin Bennemann, PGI-9


Teilansicht NanoclusterTeilansicht Nanocluster
Copyright: Torsten Rieger, Benjamin Bennemann, PGI-9

Nanocluster InstallationÜbersicht Nanocluster-Aufbau
Copyright: Torsten Rieger, Benjamin Bennemann, PGI-9

Nanocluster InstallationModul 1 Molekularstrahlepitaxie
Copyright: Torsten Rieger, PGI-9

Kontakt:

Torsten Rieger, t.rieger@fz-juelich.de


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