Suche

zur Hauptseite

Peter Grünberg Institut
(leer)

Navigation und Service


Metalorganische Gasphasenepitaxie

Das MOVPE-Labor verfügt über zwei MOVPE-Anlagen der Firma AIXTRON. Eine Anlage ist eine AIX 200 (Baujahr 1989) mit zwei übereinander angeordneten Reaktoren und Infrarotheizung. Im ersten Reaktor werden InP/InGaAs-Schichten für hochbewegliche 2D-Elektronengase (2DEGs) hergestellt, im zweiten eindimensionale Whiskerstrukturen und deren Ummantelung.

Aixtron MOVPE 1128Aixtron MOVPE 1128

Die andere Anlage, 1198, ist eine AIX 200/4 RFS (Baujahr 1998, umgebaut für Nitride 2002), die über zwei nebeneinander angeordnete Reaktoren verfügt und mit einer Hochfrequenzheizung versehen ist. Im Gaseinlass ist eine Separationsplatte eingebaut, womit die Zufuhr von Ammoniak getrennt von den Gruppe-III-Quellen erfolgt. Die Besonderheit unserer Anlage besteht darin, dass der Einlass der Gruppe III-Quellen ob näher zur Reaktordecke (konventionell) oder näher zur Substratoberfläche (invertiert) frei wählbar ist. Im ersten Reaktor wird an der Deposition von GaN basierende HEMT- und 2DEG-Strukturen und von AlN-Schichten gearbeitet, im zweiten an der Deposition von GaCrN-Schichten. Beide Reaktoren sind mit in situ Analytik ausgestattet: in einem Reaktor mit einer EpiR-TT-DA im Wellenlängenbereich 250 - 825 nm und im anderen Reaktor mit einer EpiR-TT in situ Anlage, die mit einer einzigen wählbaren Wellenlänge betrieben wird - vorzugsweise mit 600 nm.

Die Suszeptorteller in beiden Epitaxieanlagen werden durch einen Gasstrom zum Rotieren gebracht. Beide Anlagen weisen eine große Flexibilität hinsichtlich der herstellbaren Strukturen und Materialsysteme auf. Das schlägt sich z.B. in der großen Anzahl der sofort verfügbaren anschließbaren Quellen nieder. In beiden Anlagen können sowohl Wasserstoff als auch Stickstoff als Trägergas sowie Trägergasgemische eingesetzt werden. Der Wasserstoff wird dabei auf die übliche Weise mittels einer Palladium-Zelle gereinigt. Als Stickstoffreiniger wird eine Gettersäule eingesetzt.

Aixtron MOVPE 1198Aixtron MOVPE 1198

Aixtron MOVPE 1198 ReactorAixtron MOVPE 1198 Reactor


Servicemenü

Homepage