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Peter Grünberg Institut
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Röntgenbeugung

Im Röntgenlabor stehen 3 Anlagen zur Verfügung:

Philips

Ein hochauflösendes Diffraktometer der Firma Philips ausgerüstet mit Bonse-Hart-Monochromator und "triple axis"

hiermit können alle Halbleiterschichtstrukturen vermessen werden zur Bestimmung

  • von Schichtdicke, Zusammensetzung und Relaxationsgrad
  • Messungen assymmetrischer Reflexe sind in grazing incidence und grazing exit Geometrie möglich, jedoch nicht in schiefwinkliger Geometrie, da die Anlage nicht mit einer Eulerwiege ausgestattet ist.
  • Reciprocal space maps können aufgenommen werden
  • Mappings sind in einer Größe von 2x2 Zoll möglich
  • Software zur Simulation verschiedenster Schichtstrukturen ist vorhanden

XRD Philips



Seiffert

Ein Diffraktometer der Firma Seiffert mit einem PTS (powder, texture and stress) Goniometer nach Krause und Demirci, wahlweise benutzbar mit Göbelspiegel und einem asymmetrischen Ge-Monochromator oder einem Johannson Monochromator, außerdem verfügt die Anlage über einen ortsempfindlichen Detektor

Mögliche Messungen:

  • Polfiguren
  • Phasenanalyse
  • Orientierungsanalyse
  • Messung asymetrischer Reflexe in schiefwinkliger Geometrie


Prinzipiell können mit dieser Anlage auch Pulver charakterisiert werden

XRD Seifert


Bruker

Ein hochauflösendes Diffraktometer (D8, Bruker, Baujahr 2007) ausgestattet mit den folgenden möglichen Konfigurationen:

Primäroptiken: Blenden, symmetrische and asymmetrische vierfach channel cut Monochromatoren, Göbel Spiegel;
Sekundäroptiken: Göbel Spiegel, channel cut Monochromator; Soller, Blenden
Detektoren: Szintillationsdetektor, ortsempfindlicher Detektor
Sie ist ausgestattet mit einem Kipptisch auf dem Proben bis zu 6 Zoll montiert werden können, eine Eulerwiege, und eine um 90° drehbare Röntgenröhre; ein Mapping ist in x und y Richtung bis zu ± 40 mm möglich.
Die Anlage lässt die Bestimmung von Schichtdicke, Zusammensetzung, Relaxationsgrad sowie die Phasenanalyse und die Orientierungsanalyse (die entsprechende Software ist vorhanden). Folgende Messungen können durchgeführt werden:

  • Messungen in symmetrischer, asymmetrischer und schiefwinkliger Geometrie
  • reciprocal space maps
  • Polfiguren
  • In-plane Messungen
  • Reflektometrie

XRD Brucker

Kontakt

Dr. Hilde Hardtdegen


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