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Peter Grünberg Institut
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Geräte und Anlagen

Einige unserer Geräte und Anlagen werden nicht nur für unsere wissenschaftliche Arbeit verwendet. Wir bieten ebenfalls viele Arbeiten in Kooperation mit unseren Partnern an auf nationaler und internationaler Ebene.

Deposition / Epitaxie

MOVPE

Sub 32 nm Silizium Plattform

Pulsed Laser Deposition

Metallorganische Gasphasenepitaxie

III-V Molekularstrahlepitaxie und Oberflächenanalytik

MBE (Topologische Isolatoren)

Oxy Molekularstrahlepitaxie

Atomic Layer Deposition

SiGe-CVD epitaxy

high-k ALD

metal gate AVD

Wafer Cleaning Tool

Rapid Thermal Processing

Ionentechnik

Implanter-Klein

Tandetron/RBS

Ionen Implantation

Charakterisierung

He4-160-100

Magnetotransport

Röntgenbeugung


Servicemenü

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