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HNF-Umzug

Alter Reinraum Geb. 2.3HNF
  • ab 1. März keine Einweisungen mehr an Equipment
  • Schließung des Reinraum am 15. März
  • ab dem 1. Mai kann die RIE 1 wieder genutzt werden
  • ab dem 1. Mai können die Nassbänke in RR1 wieder genutzt werden
  • die Wafersäge kann bis 1. Mai genutzt werden
  • CMP kann bis 1. Juni weiter genutzt werden
  • die IBE kann durchgehend weiter genutzt werden

  • die Ebeam-Nutzung ist ungestört
  • ab Mai Userbetrieb an den neuen Nassbänken
  • ab Juli voller Userbetrieb
  • 29. September - offizielle Einweihung

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