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Verrechnungsätze HNF 2015

BDer Zugang erfolgt entweder über einen Kooperationsvertrag in Kombination mit einem FuE-Vertrag oder zu Vollkosten.

Kooperationsvertrag: Der Zugang wird über Kooperationsverträge zwischen dem Forschungszentrum Jülich und der nutzenden Institution (Universität, Fachhochschule, Forschungseinrichtung, etc.) in Kombination mit einem FuE-Vertrag des Nutzers (Institut, Abteilung, etc.) dieser Institution geregelt. Im Rahmen des Vertragsverfahrens sind die Kosten frei verhandelbar, es werden zumindest Zuschüsse erwartet. Pauschale Regelungen sind möglich.


Die untenstehenden Kosten kommen zur Verrechnung, wenn kein Kooperationsvertrag und/oder FuE-Vertrag zwischen dem Forschungszentrum Jülich und dem Nutzer möglich ist. Kosten für den Personalaufwand von Seiten der HNF sind zusätzlich.

Gerät€/Std. (inkl. MwSt)
RIE 386,82
RIE 494,80
RIE 558,15
RIE 662,68
RIE 760,96
PECVD - Oxford49,90
PECVD - Sentech70,31
Aufdampfanlage Balzers PLS 55084,87
Aufdampfanlage Balzers PLS 570150,74
Oerlikon EVO 2 Metallisierung108,12
Kontaktbelichter Süss MA 3_171,92
Kontaktbelichter Süss MA 674,60
Kontaktbelichter Süss MA 894,82
Wafer-Dicing-Saw52,41
Tempress 3 Stock Ofen102,40
Centrotherm Wetox CLV 70,98
Gigabatch 36025,51
Elektronenstrahlbelichter Vistec 5000191,78
REM Gemini 122,36
Rem FEI Magellan 103,51
FIB FEI Helios123,95
Ellipsometer Sentech SE 80049,02
Nanoimprinter56,73
UniTemp_RTP80,64
STEAG RTP 62,76
SSEC Waferwäscher53,89
Wet Bench Masken35,32
Wet Bench Si-Coating17,51
Wet Bench Si-Development21,01
Wet Bench Si-Solvents13,20
Wet Bench Si-Cleaning45,90
Wet Bench Si-Ätzen37,56
Digesthorien13,35
Wet Bench III-V Ätzen17,23
Wet Bench III-V Resist32,28
Wet Bench BioHybrid19,36
Wet Bench PreClean22,84





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