Ausstattung im Bereich Vakuumtechnik
- Vakuum – und Ultrahochvakuummesstechnik
- Restgasanalyse
- Oberflächentechnik zur Herstellung reinster Oberflächen.
- Montageräume
- Vakuumversuchsstände
- …
Ansprechpartner: Dr. Frank Martin Esser, Dr. Harald Glückler
Letzte Änderung: 30.6.2011