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Zentralinstitut für Engineering, Elektronik und Analytik (ZEA)

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Vakuumtechnik

Ohne den Einsatz von Vakuumsystemen wären heutzutage kaum noch neuartige Untersuchungen von fundamentalen Prozessen in Halbleitern, Solarzellen, Metallen, Legierungen etc denkbar. Wir sind der kompetente Technologiepartner im Forschungszentrum Jülich, der für unsere Kunden diese Anlagen nach deren Vorgaben plant, konstruiert und fertigt. Je nach Anwendungsfall kann es sich hierbei um eine Spezialkammer aus Sondermaterialien wie Titan oder Mu-Metall für Ultrahochvakuumexperimente (p kleiner 10-11 mbar) handeln oder um einen großen Vakuumbehälter mit mehreren m3 Volumen zur Aufnahme von Teilchendetektoren oder zur Simulation von Weltraumbedingungen.

 

Eine UltrahochvakuumkammerEine Ultrahochvakuumkammer für die Untersuchung von neuartigen Schichtsystemen, die für die Informationstechnologie von Interesse sind. Die Kammer hat eine Länge von etwa 1,2 m- An den Flanschen werden Analysegeräte wie LEED, Auger-Spektroskop, Massenspektrometer, oder Manipulatoren zur Handhabung der Proben angebaut.

  

Ein VakuumteststandEin Vakuumteststand zur Erprobung des Vakuumkonzepts für einen Teilchenbeschleuniger. Ohne den Teststand auszuheizen, liegt das erreichte Basisvakuum bei 2 • 10-11 mbar.

 

 

CAD-Modell einer VakuumkammerCAD-Modell einer Vakuumkammer eines Neutronenstreuspektrometers. Die Kammer hat einen Durchmesser von mehr als 6 m und eine Höhe von mehr als 3 m. Der Restdruck in der Kammer beträgt weniger als 10-6 mbar. In der Kammer werden Detektoren zum Nachweis von Neutronen und aufwändige Vorrichtungen zur Probenmanipulation eingebaut werden.

  

Zusammenbau eines VakuumsystemsZusammenbau eines Vakuumsystems unter staubfreien, trockenen und ölnebelfeinen Umgebungsbedingungen.

 

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