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Zentralinstitut für Engineering, Elektronik und Analytik (ZEA)

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Vakuumtechnik

Ohne den Einsatz von Vakuumsystemen wären heutzutage kaum noch neuartige Untersuchungen von fundamentalen Prozessen in Halbleitern, Solarzellen, Metallen, Legierungen etc denkbar. Wir sind der kompetente Technologiepartner im Forschungszentrum Jülich, der für unsere Kunden diese Anlagen nach deren Vorgaben plant, konstruiert und fertigt. Je nach Anwendungsfall kann es sich hierbei um eine Spezialkammer aus Sondermaterialien wie Titan oder Mu-Metall für Ultrahochvakuumexperimente (p kleiner 10-11 mbar) handeln oder um einen großen Vakuumbehälter mit mehreren m3 Volumen zur Aufnahme von Teilchendetektoren oder zur Simulation von Weltraumbedingungen.

 

Eine UltrahochvakuumkammerEine Ultrahochvakuumkammer für die Untersuchung von neuartigen Schichtsystemen, die für die Informationstechnologie von Interesse sind. Die Kammer hat eine Länge von etwa 1,2 m- An den Flanschen werden Analysegeräte wie LEED, Auger-Spektroskop, Massenspektrometer, oder Manipulatoren zur Handhabung der Proben angebaut.

 

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