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Zentralinstitut für Engineering, Elektronik und Analytik (ZEA)
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ToF-SIMS

ToF-SIMS Einweihung (24. Juli 2003)

seit Juli 2003 hat sich das erreichbare laterale Auflösungsvermögen und das Tiefenauflösungsvermögen deutlich verbessern.
Zudem wird mit hoher Massenauflösung M/ D M >8000 und einem Massenbereich bis zu mehreren 1000u auch die organische Spektroskopie für uns zugänglich werden. Denn wir haben ein

ToF-SIMS IV

der Firma ION-TOF (Münster)


  • Laterales Auflösungsvermögen: 300nm ---> <100nm
  • Beschußenergie (Tiefenauflösungsparameter): 2 keV ---> 0.5 keV
  • Parallele Detektion aller Massen

Sollten Sie weiterführende Fragen haben, so wenden Sie sich bitte an

Herr Dr. U. Breuer Tel.: 02461-61 5364


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