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Zentralinstitut für Engineering, Elektronik und Analytik (ZEA)
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Dr. Uwe Breuer

Dr. Uwe Breuer
Telefon: +49 2461 61-5364
E-Mail: uwe.breuer@fz-juelich.de
  • Studium der Physik an der RWTH-Aachen. Abschluss zum Dipl.-Physiker mit der Diplomarbeit am Institut für Halbleitertechnik: "Tiefenauflösung bei Profilbestimmungen an der InGaAs/InP Grenzfläche mit SIMS und AES"
  • Tätigkeit an einem kombinierten SIMS/AES-System (ATOMIKA A-DIDA, PHI 15-110 A)
  • wissenschaftlicher Angestellter am Institut für Halbleitertechnik der RWTH Aachen
  • Inbetriebnahme und Untersuchungen an einer SIMS/SNMS-Anlage (Leybold INA-3)
  • Doktorprüfung zur Dissertation mit dem Thema: "Untersuchungen zum vertikalen Auflösungsvermögen und der Quantifizierbarkeit an Halb- und Supraleitern mittels der Massenspektrometrie zerstäubter Neutralteilchen (Elektronengas SNMS)"

  • Wissenschaftlicher Angestellter am Forschungszentrum Jülich GmbH in der Zentralabteilung für Chemische Analysen. Wissenschaftliche und technische Betreuung von Oberflächenanalyse-Techniken mit den Geräten:

    • kombiniertes SIMS/Elektronenstrahl-SNMS (Quadrupol): FISONS/VG SIMSLAB 410
    • SIMS (doppelfokussierendes MS): CAMECA ims4f
    • XPS/AES: VG Mikrolab Mk III
    • ToF-SIMS IV: ION-TOF

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