Dünnschichttechnologien
Komponenten für Batterien, aber auch andere Anwendungsgebiete wie zum Beispiel Brennstoffzellen können durch physikalische und chemische Gasphasenprozesse (PVD/ CVD), oder auch durch nasschemische Verfahren hergestellt werden. Neben der Weiterentwicklung der Dünnschicht-Methoden für einzelne Materialien werden auch komplette Systeme wie Batterien oder Brennstoffzellen hergestellt.
Überwachung des PVD-Beschichtungsprozesses