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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Rasterelektronenmikroskopie/ energiedispersive Röntgenanalyse (REM/EDX)

REM ZEISS/ ULTRA 55

Leistungen und Kompetenzen

  • Hochaufgelöste Oberflächen- und Gefügeabbildung im Topografie-/Materialkontrast (E = 0.3 ... 30 keV, Vergr. 20 ... 500 000fach)
  • Qual./quant. Mikrobereichsanalyse (Punkt, Linie, Fläche) mit energiedispersivem Si(Li)-Detektor (EDX), sowie Kathodolumineszenz
  • Ergebnisdokumentation in digitaler Form und Bereitstellung im Intranet

Geräte

Anlagen für die Probenpräparation

  • Sputterbeschichtungsanlage SCD050 (Au, Pt)
  • Leica Sputtercoater EM ACE200 für Pt und Kohlenstoff
  • Hitachi IM4000 zur Politur von Bruchfläche und Querschliffen mit Ar-Ionen

Rasterelektronenmikroskope

  • Zeiss "Ultra55" (FEG-REM) mit EDX (X-Max 80mm2) (Oxford Instruments, INCAEnergy400)
  • "Phenom" table top REM (einfaches Tischgerät mit CeB6-Kathode ohne EDX für Abbildung 200-20000x bei 5kV)


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