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Institut für Energie- und Klimaforschung
IEK-5 Photovoltaik

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Das Silizium Heterojunction Baseline Programm

Silizium Heterojunction Baseline Programm

Das Silizium Heterojunction Baseline Programm umfasst die gesamte Prozesstechnologie einer vollständigen Baseline für hocheffiziente Silizium-Heterostruktursolarzellen (Silicon Heterojunction, SHJ) am Institut für Energie- und Klimaforschung 5 - Photovoltaik. Technologisches Gesamtziel ist die Realisierung von SHJ-Solarzellen mit einem reproduzierbaren Wirkungsgrad von >25 % auf industrieller Wafergröße als Plattform für weitere innovative Konzepte. Die Baseline beinhaltet Anlagen, die die gesamte Prozesskette von SHJ-Solarzellen von der nasschemischen Vorbehandlung über die Dünnschichtabscheidung bis zur Metallisierung sowie deren Analytik zur schnellen Ergebnisbeurteilung nach dem aktuellen Stand der Technik abbilden. Ein Durchsatz von bis zu 60 Zellen/Tag auf 6 Zoll (M2/M6) Wafer soll hiermit möglich sein. Der höchste gemessene Wirkungsgrad einer vollständig am IEK-5 hergestellten SHJ Solarzelle auf M2 Wafergröße im Smartwire-Design beträgt 24.2%. Diese Aktivität zielt neben der Bereitstellung einer Plattform für die Entwicklung von innovativen Hocheffizienzkonzepten auch auf die Unterstützung der Industrie, die in dem Photovoltaik-Umfeld und insbesondere im SHJ-Thema aktiv sind.


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