Nanocluster
Das Institut verfügt über eine hochmoderne Multi-Material-Cluster-Anlage (NanoCluster). Die Anlage bietet eine einzigartige Kombination von neun UHV-Epitaxie-/Abscheidungssystemen einschließlich MBE, ALD und Sputtern. Sie bietet die Möglichkeit, komplexe Nanostrukturen aus III-V- und II-VI-Halbleitern (auf ZnSe-Basis), Metallen, Oxiden, magnetischen und phasenwechselnden Materialien in-situ zu erzeugen.