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Institut für Energie- und Klimaforschung

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Forschungsschwerpunkt

Arbeitsgebiet: Dünnschichttechnologien

Elektrochemische Speicher: Stromableiter, Elektroden und Elektrolyte (z.B. mit Granat-Struktur) über physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) oder nasschemische Verfahren, Reaktivsputtern von amorphen Elektrolytschichten, Entwicklung von Diffusionsbarriereschichten, PVD und Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) von Diffusionsbarriereschichten

 Hochtemperatur-Brennstoffzellen: Deposition von Elektroden, Elektrolytschichten und weiteren Diffusionsbarriere- oder Adaptionsschichten über (Reaktiv-)Sputterprozesse bzw. Elektronenstrahlverdampfen

Gastrennmembrane:

Abscheidung von Elektronen-/Ionen-leitenden Werkstoffen als dichte Schichten



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